半導(dǎo)體制造作為現(xiàn)代科技的核心領(lǐng)域，生產(chǎn)環(huán)境對(duì)振動(dòng)控制的敏感度遠(yuǎn)超傳統(tǒng)工業(yè)。在晶圓光刻、納米級(jí)刻蝕等關(guān)鍵工藝中，微米級(jí)振動(dòng)可能導(dǎo)致芯片線寬偏差、電路短路甚至晶圓報(bào)廢。本文合景凈化工程公司主要探討半導(dǎo)體車間凈化工程建設(shè)中的防微振設(shè)計(jì)。
根據(jù)《電子工業(yè)防微振工程技術(shù)規(guī)范》GB51076 - 2015，半導(dǎo)體潔凈車間的防微振設(shè)計(jì)需滿足集成電路制造廠房前工序等建筑宜采用小跨度柱網(wǎng)，工藝設(shè)備層平臺(tái)宜用鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)，平臺(tái)與周圍結(jié)構(gòu)間設(shè)隔振縫。當(dāng)采用混凝土結(jié)構(gòu)的建筑物超長(zhǎng)時(shí)，應(yīng)采用超長(zhǎng)混凝土結(jié)構(gòu)無縫設(shè)計(jì)技術(shù)，降低溫度伸縮應(yīng)力?？稍谄脚_(tái)下部分柱間設(shè)置鋼筋混凝土防微振墻，縱橫向?qū)ΨQ布置，厚度不小于250mm，不開設(shè)孔洞。
根據(jù)地質(zhì)條件，優(yōu)先選擇堅(jiān)硬土層或基巖作為基礎(chǔ)持力層。若地質(zhì)條件不滿足，可采用樁基礎(chǔ)或人工處理復(fù)合地基，以提高地基的承載能力和穩(wěn)定性，減少地面振動(dòng)和共振現(xiàn)象。對(duì)于軟土地基等不良地質(zhì)條件，可采用地基加固方法，增強(qiáng)地基土的強(qiáng)度和剛度，降低地基的壓縮性和振動(dòng)傳遞系數(shù)。
可采用小跨度柱網(wǎng)和鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)的工藝設(shè)備層平臺(tái)，提高結(jié)構(gòu)的整體剛度和抗振性能。在平臺(tái)與周圍結(jié)構(gòu)之間設(shè)置隔振縫，切斷振動(dòng)傳遞路徑。將強(qiáng)烈振動(dòng)設(shè)備或?qū)φ駝?dòng)敏感設(shè)備布置在廠房底層，較大振動(dòng)設(shè)備或敏感設(shè)備靠近承重墻、框架梁及柱等剛度較大部位。將振動(dòng)設(shè)備和敏感設(shè)備分類集中、分區(qū)布置，利用廠房變形縫分隔，敏感設(shè)備遠(yuǎn)離振動(dòng)設(shè)備，水平擾力較大設(shè)備的擾力方向與廠房結(jié)構(gòu)水平剛度較大方向一致。
對(duì)精密設(shè)備進(jìn)行隔振支座設(shè)計(jì)和安裝，在設(shè)備與地面之間設(shè)置隔振墊，有效減少設(shè)備振動(dòng)傳遞至地面和周圍設(shè)備。基臺(tái)采用框架式支承時(shí)，宜用鋼筋混凝土框架，周邊設(shè)隔振縫。選用低振動(dòng)施工設(shè)備，或在設(shè)備周圍設(shè)置隔振措施，減少施工過程中設(shè)備振動(dòng)對(duì)周邊環(huán)境的影響。避免采用劇烈振動(dòng)的施工操作。在材料運(yùn)輸過程中，采用減振車輛或在運(yùn)輸車輛上設(shè)置減振墊，防止材料運(yùn)輸過程中產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)車間結(jié)構(gòu)和已安裝設(shè)備造成影響。
在半導(dǎo)體車間凈化工程的施工和運(yùn)營(yíng)階段，應(yīng)安裝振動(dòng)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，通過在關(guān)鍵部位布置振動(dòng)傳感器，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)車間內(nèi)的振動(dòng)情況。對(duì)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)采集到的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和處理，及時(shí)發(fā)現(xiàn)振動(dòng)異常情況。根據(jù)監(jiān)測(cè)結(jié)果，采取相應(yīng)的調(diào)整和改進(jìn)措施。
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