隨著5G通信、人工智能、新能源汽車(chē)等產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，對(duì)高端半導(dǎo)體器件的需求呈爆炸式增長(zhǎng)。外延作為制造射頻前端芯片、功率器件和高端光源的核心工藝，其質(zhì)量直接決定了芯片的性能與良率。
該項(xiàng)目作為大灣區(qū)重點(diǎn)項(xiàng)目之一，建成后將成為碳化硅(SiC)外延片產(chǎn)業(yè)鏈的強(qiáng)大引擎，打造高端晶片制造業(yè)的行業(yè)典范，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。本次項(xiàng)目將打造具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的“總部+制造+配套”一體化產(chǎn)業(yè)綜合體。
半導(dǎo)體外延晶片凈化工程項(xiàng)目涉及恒溫恒濕環(huán)境系統(tǒng)、內(nèi)裝工程、智能化與自控系統(tǒng)項(xiàng)目、暖通、電氣工程、PCW工藝?yán)鋮s水、RO/DI反滲透、壓縮空氣等綜合性建設(shè)項(xiàng)目。合景凈化工程公司為客戶提供車(chē)間整體規(guī)劃、設(shè)計(jì)、采購(gòu)、施工、調(diào)試交付等全過(guò)程EPC總承包服務(wù)。
十級(jí)電子凈化工程裝修注意事項(xiàng)：
潔凈區(qū)封閉管理：采用氣密性良好的圍擋材料，將施工區(qū)域與外部環(huán)境完全隔離。設(shè)置獨(dú)立的人員、物料進(jìn)出口，并安裝風(fēng)淋室、傳遞窗等凈化設(shè)備。人員進(jìn)出必須更換潔凈服、鞋套，佩戴口罩、手套，經(jīng)過(guò)風(fēng)淋除塵后方可進(jìn)入。
空氣凈化系統(tǒng)：施工過(guò)程中，持續(xù)開(kāi)啟空氣凈化系統(tǒng)，確保潔凈區(qū)內(nèi)的空氣始終處于凈化狀態(tài)。根據(jù)施工進(jìn)度和區(qū)域，合理調(diào)整送風(fēng)量和換氣次數(shù)，保證潔凈區(qū)的潔凈度等級(jí)不低于設(shè)計(jì)要求。定期對(duì)空氣進(jìn)行檢測(cè)，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)空氣中懸浮粒子的數(shù)量和粒徑分布。
溫濕度控制：嚴(yán)格控制潔凈區(qū)內(nèi)的溫濕度，溫度一般保持在22±2℃。相對(duì)濕度控制在45%-65%。安裝溫濕度傳感器，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并反饋數(shù)據(jù)，通過(guò)空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行精準(zhǔn)調(diào)節(jié)。確保潔凈區(qū)與相鄰區(qū)域之間保持合理的壓力差，一般潔凈區(qū)相對(duì)非潔凈區(qū)保持5-10Pa的正壓。
材料和設(shè)備檢驗(yàn)：所有進(jìn)入施工現(xiàn)場(chǎng)的材料和設(shè)備必須具備質(zhì)量合格證明文件，并按照相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行檢驗(yàn)。對(duì)于凈化工程中常用的彩鋼板、高效過(guò)濾器、風(fēng)管等材料，要檢查其規(guī)格、型號(hào)、性能是否符合設(shè)計(jì)要求。設(shè)備方面，要對(duì)空調(diào)機(jī)組、風(fēng)機(jī)等設(shè)備進(jìn)行試運(yùn)行，確保其性能穩(wěn)定、運(yùn)行正常。
空調(diào)機(jī)組安裝：車(chē)間內(nèi)空調(diào)機(jī)組是空氣處理的核心設(shè)備，其安裝位置要合理，便于操作和維護(hù)。在安裝過(guò)程中，要保證機(jī)組的水平度和垂直度，連接管道要密封良好，防止空氣泄漏。機(jī)組安裝完成后，要進(jìn)行調(diào)試和試運(yùn)行，檢查機(jī)組的各項(xiàng)性能指標(biāo)是否符合設(shè)計(jì)要求。
電氣系統(tǒng)要求：電子凈化工程的電氣系統(tǒng)要滿足潔凈、安全、可靠的要求。電線電纜的敷設(shè)要采用暗敷或橋架敷設(shè)方式，避免在凈化區(qū)域內(nèi)明敷。電氣設(shè)備的安裝要牢固、整齊，接地良好。在凈化區(qū)域內(nèi)使用的燈具、開(kāi)關(guān)等電氣設(shè)備要選擇密封性好、易于清潔的產(chǎn)品。
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