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發(fā)布時(shí)間：2023-03-27

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集成電路無(wú)塵車間是為了實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備加工工藝要求的凈化室，該無(wú)塵車間對(duì)自然環(huán)境潔凈度等級(jí)、溫度濕度、震動(dòng)、ESD、AMC操縱等常有必須的規(guī)定。相對(duì)性于別的工業(yè)生產(chǎn)凈化室，集成電路生產(chǎn)制造無(wú)塵車間有總面積大、清潔等級(jí)高、溫度濕度線性度高等特性。

集成電路凈化車間

根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)系統(tǒng)空調(diào)相互配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)軟件、循環(huán)系統(tǒng)離心風(fēng)機(jī)相互配合濕試密封性系統(tǒng)軟件和FFU呼吸系統(tǒng)。

第一類：在小規(guī)模納稅人低等級(jí)規(guī)定的凈化室生產(chǎn)車間設(shè)計(jì)構(gòu)思中被運(yùn)用，針對(duì)大規(guī)模高級(jí)的凈化車間則存有運(yùn)作成本費(fèi)過(guò)高、占有室內(nèi)空間過(guò)大等缺陷。

第二類：能夠考慮集成電路生產(chǎn)制造無(wú)塵車間大規(guī)模高級(jí)的規(guī)定，但運(yùn)作成本費(fèi)較高，而且凈化室風(fēng)力、排風(fēng)量調(diào)整艱難，系統(tǒng)更新更新改造艱難，因而實(shí)際操作協(xié)調(diào)能力很低。

第三類: 的FFU呼吸系統(tǒng)不但節(jié)約運(yùn)作室內(nèi)空間、潔凈度等級(jí)安全系數(shù)高、運(yùn)作低成本，并且實(shí)際操作協(xié)調(diào)能力很高，能夠不在危害生產(chǎn)制造的狀況下隨時(shí)隨地開(kāi)展系統(tǒng)更新和調(diào)節(jié)，這種都能非常好地考慮半導(dǎo)體設(shè)備的要求，因而在半導(dǎo)體材料加工業(yè)FFU呼吸系統(tǒng)逐步形成最關(guān)鍵的清潔方案設(shè)計(jì)。

FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點(diǎn)是：整個(gè)潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成，由FFU提供循環(huán)空氣的動(dòng)力，將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過(guò)超高效過(guò)濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對(duì)于工藝層為負(fù)壓。此外，還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域，包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。

集成電路制造對(duì)無(wú)塵車間環(huán)境的控制有較為嚴(yán)格的要求。不同的工藝制程對(duì)潔凈度的要求也各不相同，例如光刻要求在1級(jí)的微環(huán)境下，而化學(xué)機(jī)械研磨則只要求1000級(jí)的環(huán)境即可。另外，集成電路制造潔凈廠房對(duì)噪聲、微振、照度等都有相關(guān)的規(guī)定和要求，尤其是振動(dòng)的控制，在潔凈室的建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上就要有所要求。好的潔凈車間設(shè)計(jì)不僅能節(jié)省能源、降低運(yùn)行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統(tǒng)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)運(yùn)行成本最低，潔凈度安全性最高，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運(yùn)行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對(duì)較低的情況下，將一些關(guān)鍵的工藝設(shè)備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計(jì)趨勢(shì)。

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